怎么理解質(zhì)量流量計/質(zhì)量流量控制器的流量單位？

氣體質(zhì)量流量單位一般以sccm（Standard Cubic Centimeter per Minute,每分鐘標準毫升）和slm（Standard Liter per Minute,每分鐘標準升）來(lái)表示。這意味著(zhù)，這種儀表在不同的使用條件下，指示的流量均是標準狀態(tài)下的流量。標準狀態(tài)規定為: 氣壓—101325Pa (760mm Hg); 溫度—0℃ (273.15K)。這是這種儀表和其它流量計的重要區別，也是sccm﹑slm不同于mL/min﹑L/min 之處。

對多數用戶(hù)而言，體積流量的表示方法很符合習慣﹑便于使用，但也有用戶(hù)需要知道單位時(shí)間內流過(guò)介質(zhì)的質(zhì)量（如g/min）,這個(gè)要求是很容易實(shí)現的。因為標準狀態(tài)下的氣體密度是一個(gè)常數, 可以方便地查到，因而簡(jiǎn)單地做一個(gè)乘法（以密度乘以若干slm）即可實(shí)現。所以說(shuō),在標準狀態(tài)下的體積流量就等同于質(zhì)量流量。

需要注意的是, 被全世界質(zhì)量流量控制器廠(chǎng)商共同采用的sccm/slm這種質(zhì)量流量單位, 不符合國內計量標準的常用的質(zhì)量流量的國際單位（Kg/min）, 但是它符合國際半導體協(xié)會(huì )制定的SEMI國際標準。

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視頻作者：北京曉韜科技有限公司

流量積算儀的特點(diǎn)有哪些？

流量積算儀,顯示采用大屏幕,全點(diǎn)陳液晶帶背光，中文顯示,通過(guò)簡(jiǎn)單編程測量飽zhi和dao蒸氣,過(guò)熱蒸氣和液體及一般氣體的流量參數,實(shí)現壓力自動(dòng)補償,溫度自動(dòng)補償,溫壓自動(dòng)補償等,同時(shí)可測量熱水，飽和蒸氣和過(guò)熱蒸氣的熱參數,實(shí)現壓力自動(dòng)補償熱焓等還可以查詢(xún)日報表，月報表和停電時(shí)間記錄,能帶定量控制，是國內比較先進(jìn)流量積算儀。

它屬于二次儀表，就類(lèi)似于信號處理輸出裝置。不能單獨的稱(chēng)為流量計。用在計算流量的工程上，常用如蒸汽流量計量等。

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積算儀設置參數

（1）Pb：壓力補償設置開(kāi)關(guān)，選擇on,需要壓力補償，選擇oFF，不需要壓力補償。

注：如果用戶(hù)已選擇on，即需要壓力補償，而壓力傳感器或變送器實(shí)際未接，則儀表自動(dòng)按不需要壓力補償處理，同時(shí)壓力指示燈閃爍告知。

（2）in-c：小信號切除設定，設定范圍為0～5，表示小信號切除點(diǎn)為信號量程的0～5%，出廠(chǎng)值為1%。

（3）n-累積量顯示值的小數點(diǎn)位數，范圍從0～3。